ＰｅｃｕｌｉａｒＴｅｍｐｏｒａｌＳｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｔｈｅＳｏｕｔｈＣｈｉｎａＳｅａＳｕｍｍｅｒＭｏｎｓｏｏｎＢｉｎＷａｎｇ①ａｎｄＲｅｎｇｕａｎｇＷｕＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｔｅｏｒｏｌｏｇｙ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＨａｗａｉ，ＵＳＡＲｅｃ.........

在大规模集成电路进入深次微米时代的同时,铜工艺技术也被广范应用在金属互连层的工序当中。电迁移（Electromigration,EM）测试是检测......